無油真空泵又稱干泵，這種泵無任何工作液。因此能保證被抽空間清潔，對(duì)周圍環(huán)境沒有污染，有人稱之為“綠色”真空泵。

使用它可以提高產(chǎn)品質(zhì)量。例如，顯像管內(nèi)無油污染能保證陰極發(fā)射穩(wěn)定，圖像清晰，使用壽命長(zhǎng)；鍍膜室內(nèi)無油，能提高膜層性能，增加膜層牢固度等。因此無油機(jī)械真空泵適用于真空電子行業(yè)。

本文所介紹的無油真空泵均指直排大氣的泵。所謂無油是指在泵腔內(nèi)不使用油類和液體，而傳動(dòng)的齒輪和軸承還需要油類潤(rùn)滑，只是油蒸氣不允許進(jìn)入泵的吸氣口。

無油真空泵的種類很多，按泵的結(jié)構(gòu)，可分成接觸式和非接觸式兩大類。

接觸式是指泵的運(yùn)動(dòng)件與靜止件之間有接觸、摩擦，如旋片泵、活塞泵等，其最大壓縮比隨壓力大小無大幅度變化，在接近大氣壓時(shí)比非接觸式壓縮比大。

非接觸式是指泵的兩運(yùn)動(dòng)件之間或運(yùn)動(dòng)件與靜止件之間沒有任何接觸，轉(zhuǎn)子需要高速旋轉(zhuǎn)，如羅茨泵、爪型泵、螺旋型泵等，其最大壓縮比隨壓力變化而變化，接近大氣壓狀態(tài)時(shí)，壓縮比很小，因此需要多級(jí)組合抽氣。

比較科學(xué)的方法應(yīng)該是按泵的工作原理劃分泵的種類，通常可分成容積型和動(dòng)量傳輸型兩大類，每一類里還包括幾種不同形式的泵。